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MEMS Applications 微机电工程

（ MEMS ）的开发透过半导体制程的技术已更趋成熟稳定，在次微米组件中可包含机械、流体、光学及电控设计。因为利用集成电路的制程缘故，故可以大量生产高精度、低成本的零组件，其间并可将复杂的电路整合其中。

 然而在许多 MEMS 组件的开发过程中，仍需动用许多工程师与科学专家在设计、试做、测试与改善上，因而耗费高额的时间与成本。但现在透过数值仿真软件的协助，以能在极短时程内即可获得关于电讯、力学、化学、热学及流体力学的重要设计参数，而 FLOW 3D 正是其中之翘楚，能为您的设计节省下大幅的预算与成本。

1. Dielectrophoresis （电导）

于生物芯片实验室以电导力进行细胞分离之模拟

 

电导型细胞定位器 流、电、温度场分布图

 

Electroosmosis （电渗）

 

	双层导电层模型 以玻璃为文件板与富含电荷之电解液接触
	微帮浦
	流体集束器 建立均匀流线 , 精确截断流线
	微矩阵
	微混成 利用螺旋建立非均匀流场, 流场特性不受流道几何外型所影响

 

Optical Switching （光学开关）

目的：开发一种可因应高速网络需求的讯号开关
可控制极快速的开闭动作，传统上是以电子组件控制 ，目前光纤传递的方式以达电子组件的瓶颈 ( 非电子式的开关）

 

优点 : 更快的动作 不受讯号编码的限制	缺点 : 会有讯号损失的疑虑
泡沫动态分析要项 气泡稳定且确实的阻断光讯号传递 试作品的缺陷 35 kHz 下讯号阻断效果不佳 气泡边界垂直度差易造成讯号的损失 尺寸太小有实际量测上的困难 必须选用高阶的 CFD 软件仿真	选择 FLOW-3D 的原因 最优的成本效益 最真实的泡沫模拟机制 最佳的软件服务团队 FLOW 3D 所独有的先进泡沫模型 . 热、质传可于泡沫壁上同时进行 泡沫均压控制

 

光纤开关运作原理 橘色 - 光讯号可通过之特殊液体 红色 - 光路 白色 - 阻断光讯号传递之气泡

 

FLOW-3D 模拟要项 气泡以 35KHz 的频率振荡 壁面上的压缩波效应 模拟不易直接观察的薄型压缩层 以模拟发觉实验无法观测出的问题 解决方案：壁面加热，减少液体的附 着